MKS壓力控制器不同的型號(hào)有各種的優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)，下面是我們?yōu)槟鷰?lái)的美國(guó)MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品特征，歡迎您繼續(xù)往下閱讀！ 1、美國(guó)MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品介紹 智能集成壓力控制解決方案可為困難的CVD工藝和一般真空應(yīng)用提供精確控制。他們獨(dú)特的設(shè)計(jì)非常適合需要高性能和簡(jiǎn)單集成到工藝工具中的應(yīng)用。節(jié)氣門(mén)組件內(nèi)的所有控制、通信和驅(qū)動(dòng)電路無(wú)需安裝單獨(dú)的電子模塊。集成壓力控制器與真空室一起使用，以控制進(jìn)入和離開(kāi)真空室的氣流。MKS集成壓力控制器包括Baratron®壓力測(cè)量、電磁流量控制閥和集成控制電子設(shè)備。PPCA壓力控制器為關(guān)鍵工藝應(yīng)用提供壓力測(cè)量和控制，例如背面晶圓壓力控制、傳輸室壓力控制和工藝氣體面板壓力平衡。該裝置可配置用于上游（入口）或下游（出口）壓力控制。這是在一個(gè)緊湊的封裝中完成的，與以前完成任務(wù)所需的多組件系統(tǒng)相比，節(jié)省了關(guān)鍵空間。 2、美國(guó)MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品特征 PPCA利用MKS Instruments領(lǐng)先的Baratron®電容壓力計(jì)技術(shù)進(jìn)行壓力測(cè)量。它與比例控制閥和最新的控制電子設(shè)備集成在一起，提供快速、準(zhǔn)確的壓力控制，并通過(guò)關(guān)鍵流量監(jiān)控作為系統(tǒng)診斷。PPCA可配置為10至1000 Torr滿量程壓力，控制范圍為滿量程的5至100%。這種可配置性使該器件適用于傳輸室壓力控制、關(guān)鍵背面晶圓壓力控制以及運(yùn)行排氣壓力控制應(yīng)用。根據(jù)工藝條件，控制閥可配置為5至5000 sccm滿量程的滿量程流量。PPCA配備數(shù)字（DeviceNet™或EtherCAT®）I/O，可直接集成到新應(yīng)用或改造應(yīng)用中。該設(shè)備的微型USB用戶(hù)界面增強(qiáng)了現(xiàn)場(chǎng)調(diào)節(jié)和組件診斷功能，幾乎可以通過(guò)任何帶有網(wǎng)絡(luò)瀏覽器的PC進(jìn)行訪問(wèn)。 ? 3、美國(guó)MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品模擬輸出 1249可由±15 VDC或24 VDC的常用電源供電，功耗不到一瓦（不包括閥門(mén)）。它接受來(lái)自PC、PLC或其他系統(tǒng)控制器的0-5 VDC、0-10 VDC或4-20 mA控制信號(hào)輸入。1249的輸出信號(hào)經(jīng)過(guò)定制，可滿足148或248比例控制閥的要求。如果施加到1249的電源為±15 VDC或+30 VDC，則1249還可用于驅(qū)動(dòng)154閥。 4、美國(guó)MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品特點(diǎn) ①背面晶圓冷卻 ②對(duì)設(shè)定點(diǎn)的快速響應(yīng)，超調(diào)最小 ③金屬密封、潔凈室制造的裝置滿足關(guān)鍵的高純度應(yīng)用需求 ④溫度補(bǔ)償可在其工作溫度范圍內(nèi)保持器件精度 5、美國(guó)MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品規(guī)格 ①壓力范圍：10、20、50、100、200、500或1000 Torr滿量程 ②流量：50、200、1000、5000、10000、20000、30000、50000（sccm） ③壓力分辨率：0.1托 ④配件類(lèi)型：Swagelok®4 VCR外螺紋 ⑤壓力控制精度：讀數(shù)的±1.0%（≥10%滿量程）滿量程的±0.2%（小于10%滿量程） ⑥傳感器超壓限制：所有量程均為2x滿量程 ⑦最大壓差：45磅/平方英寸 ⑧爆破壓力：1500磅/平方英寸 ⑨控制方式：上游或下游 ⑩壓力測(cè)量精度：讀數(shù)的±0.5% ?零溫度系數(shù)：滿量程的±0.02%/°C ?跨度溫度系數(shù)：±0.04%讀數(shù)/°C ?控制范圍：大于滿量程的5至100% ?典型響應(yīng)時(shí)間：小于1.0秒（不包括系統(tǒng)時(shí)間常數(shù)） 鄭重聲明：內(nèi)容來(lái)源于網(wǎng)絡(luò)收集整理，不一定正確，僅作參考;本站僅僅是為了更好地宣傳推廣歐美工控備件等產(chǎn)品信息，方便用戶(hù)了解這些歐美工業(yè)備品備件，我司非以上品牌的官方授權(quán)代理，品牌、商標(biāo)所有權(quán)、型號(hào)解釋權(quán)都?xì)w原廠商所有。如有問(wèn)題，請(qǐng)聯(lián)系我們。 _______________________________________________________________________________ 以上就是華聯(lián)歐為廣大客戶(hù)整理的有關(guān)美國(guó)MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品特征的全部產(chǎn)品信息，感謝您的閱讀。
+86 0755 83233703
電話： 0755-83233703
