以下是我們?yōu)槟榻B的美國MKS流量控制閥248D。如果您想要購買，卻到處詢不到心儀的價格，請來找我們，我們一定竭力為您爭取最大的優(yōu)惠。 1、美國MKS流量控制閥248D介紹 上游流量控制閥是比例控制閥，設(shè)計用于精確控制過程中上游的氣流。148J全金屬控制閥最大限度地減少了顆粒的產(chǎn)生并減少了殘留污染物的逸氣，否則可能導(dǎo)致設(shè)備故障和產(chǎn)量下降。使用保證外部泄漏率小于1 x 10-10 atm cc/sec(He)的金屬密封件以避免污染和腐蝕。148高溫閥可在150°C的過程溫度下運行。248D控制閥是一種改進型電磁閥，在提供控制電流時將調(diào)節(jié)氣體流量。當(dāng)與MKS控制器和適當(dāng)?shù)牧髁總鞲衅饕黄鹗褂脮r，248D閥門可調(diào)節(jié)氣體流量，同時保持準確和精確的壓力或流量。 ? 2、美國MKS流量控制閥248D特性 隨著施加到螺線管的電流不斷增加，連接到電樞的閥座被提升遠離可調(diào)節(jié)節(jié)流孔。兩個螺旋彈簧使電樞在閥體內(nèi)居中并抵抗磁升力。這些彈簧最大限度地減少了摩擦和遲滯，這是導(dǎo)致控制性能不佳的主要原因。通過1249控制閥驅(qū)動器提供操作電磁閥所需的驅(qū)動信號，248D閥可用于壓力或流量控制。248D閥門的節(jié)流孔無需特殊工具即可輕松調(diào)節(jié)或更換?？赡苄枰M行調(diào)整以消除因正常操作磨損而導(dǎo)致的閥門泄漏。當(dāng)磨損過度或改變閥門的流量范圍時需要更換。 3、美國MKS流量控制閥248D特征 ①無需特殊工具即可輕松調(diào)整或更換 ②調(diào)節(jié)氣體流量，同時保持精確的壓力或流量 ③316 SS、鎳、埃爾吉洛伊合金、KM45、特氟龍 ④10至30,000 sccm滿量程流量范圍 ⑤4 VCR®外螺紋接頭 ⑥可烘烤至150°C 4、美國MKS流量控制閥248D規(guī)格 ①類型：248D流量控制閥 ②滿量程流量范圍：10-50,000標(biāo)準立方厘米 ③最小可控流量：0.2%滿量程(小于100 sccm)；0.1%滿量程(100至10,000 sccm)；小于2%滿量程(大于10,000 sccm) ④閉合電導(dǎo)泄漏：小于1×10-5 scc/sec He（最高10,000 sccm）；小于1%滿量程(大于10,000 sccm)（15 psid至atm） ⑤暴露的材料：標(biāo)準：316 SS、鎳、Viton®；可選：Buna-N、Kalrez®、Neoprene® ⑥密封材料：Viton、氯丁橡膠、Buna-N或Kalrez ⑦配件類型標(biāo)準：0.25英寸Swagelok®；可選：4 VCR或4 VCO®外螺紋 ⑧工作溫度：-10至60° 5、美國MKS流量控制閥248D產(chǎn)品說明 MKS提供上游氣流控制閥，可與適當(dāng)?shù)腗KS控制器和壓力傳感閥連接，通過調(diào)節(jié)進入腔室的氣流來控制腔室壓力。提供傳統(tǒng)的閥門/控制器和完全集成的閥門/控制器配置。傳統(tǒng)的上游閥門和閥門控制器組合包括基線248D流量控制閥、148J全金屬控制閥和154B高流量閥，可使用MKS 651和1651壓力控制器進行控制。這些閥門可以使用1249電磁控制閥驅(qū)動器進行控制。控制閥驅(qū)動器旨在與PC、PLC或其他控制器一起使用，這些控制器提供必要的PID控制功能，但不具備驅(qū)動流量控制閥所需的電流輸出。 6、美國MKS流量控制閥248D其他型號介紹 MKS提供用于閉環(huán)電子壓力控制的集成上游壓力閥和控制器。這些是獨立的緊湊型閉環(huán)電子控制系統(tǒng)，用于上游或下游壓力控制。MKS的640B和641B絕對壓力和表壓控制器包含Baratron電容壓力計、常閉比例控制閥和閉環(huán)控制電子設(shè)備。這些控制器中的壓力輸出和輸入控制信號為線性0-5 VOC或0-10 VDC。640/641中包含兩個跳閘點，并帶有LED狀態(tài)指示燈，可用作簡單的開/關(guān)過程限制。640和641壓力控制器可與單通道或四通道電源/讀數(shù)器連接。除了單區(qū)集成壓力控制器外，MKS還提供DPC雙區(qū)壓力控制器，該控制器集成了入口氣動截止閥、兩個帶質(zhì)量流量計量的獨立壓力控制通道和一個真空出口。這樣做的目的是降低用于背面晶圓冷卻的壓力控制子系統(tǒng)的總體擁有成本，特別是對于最新的兩區(qū)靜電吸盤。 MKS還提供πPC系列PC90集成閉環(huán)壓力控制器和PC99集成閉環(huán)壓力控制器（包括質(zhì)量流量計）。πPC壓力控制器以支持網(wǎng)絡(luò)的格式提供數(shù)字控制。它是一種獨立、緊湊、閉環(huán)電子壓力控制系統(tǒng)，專為各種壓力和流量條件而設(shè)計。它包含Baratron電容壓力計、常閉或常開控制閥以及閉環(huán)控制電子設(shè)備。πPC可采用上游或下游壓力控制配置，使其非常適合控制工藝室背壓或工藝氣體輸送壓力。憑借數(shù)字（DeviceNet或RS-485）或模擬I/O及其以太網(wǎng)設(shè)置/診斷功能，πPC可以輕松集成到大多數(shù)處理工具中。πPC壓力控制器是一個完整、緊湊的壓力控制套件，可最大限度地降低成本和空間要求。MKS提供多種不同型號的真空/壓力開關(guān)，用于準確可靠地保護真空設(shè)備、大氣切換和真空/壓力過程。這些開關(guān)專為不需要直流信號輸出的應(yīng)用而設(shè)計，提供繼電器輸出，可輕松與警報器、閥門執(zhí)行器、計算機、過程控制器、負載鎖和其他保護設(shè)備連接。 鄭重聲明：內(nèi)容來源于網(wǎng)絡(luò)收集整理，不一定正確，僅作參考;本站僅僅是為了更好地宣傳推廣歐美工控備件等產(chǎn)品信息，方便用戶了解這些歐美工業(yè)備品備件，我司非以上品牌的官方授權(quán)代理，品牌、商標(biāo)所有權(quán)、型號解釋權(quán)都歸原廠商所有。如有問題，請聯(lián)系我們。 _______________________________________________________________________________ 以上就是我們?yōu)槟榻B的美國MKS流量控制閥248D，如果您還在為歐洲機械產(chǎn)品昂貴的價格望而興嘆，請您嘗試選擇華聯(lián)歐，我們將通過專業(yè)的技術(shù)和優(yōu)質(zhì)售后服務(wù)，與您搭建起長久穩(wěn)固的合作關(guān)系。
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